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陶瓷真空吸盘是由多孔陶瓷材料制成，具有高导热性、高绝缘性、耐腐蚀性和低热膨胀系数。它们在半导体晶圆制造的减薄、切割、研磨、清洁和处理等工序中广泛应用，有效解决了晶圆印痕、芯片静电击穿和粒子污染等问题。 微孔陶瓷吸盘是一种功能型的结构陶瓷，微孔陶瓷吸盘由陶瓷盖板和底座（金属或陶瓷）两部分组成。其内部或表面含有大量开口或闭口微小气孔，孔径一般为微米级或亚微米级。 盖板材料一般使用氧化铝，氧化锆，碳化硅，石英等材料，底座一般会选用金属或陶瓷材料。 我司产品特点：低密度，耐高温，耐腐蚀，化学稳定性好。
微孔陶瓷吸盘
18630385299
应用领域半导体晶圆的制造环节，如晶圆减薄、划片等;面板制造 产品特点采用多孔陶瓷材料制作的高效吸附工具，广泛用于半导体晶圆的制造环节。凭借其高平整性和高耐磨性，在硅片、蓝宝石、砷化镓等脆性材料的加工中显示出卓越的性能 产品特点 主要用于吸附晶圆、晶圆的搬运、定位和固定。光刻机是半导体制造中的关键设备之一，真空吸盘用于承载和固定硅片，确保在曝光过程中硅片的精确定位和稳定。真空吸盘的高平面度和平行度有助于提高光刻精度。陶瓷真空吸盘是由多孔陶瓷材料制成，具有高导热性、高绝缘性、耐腐蚀性和低热膨胀系数。它们在半导体晶圆制造的减薄、切割、研磨、清洁和处理等工序中广泛应用，有效解决了晶圆印痕、芯片静电击穿和粒子污染等问题。 应用领域 半导体晶圆的制造环节，如晶圆减薄、划片等;面板制造 产品特点 采用多孔陶瓷材料制作的高效吸附工具，广泛用于半导体晶圆的制造环节。凭借其高平整性和高耐磨性，在硅片、蓝宝石、砷化镓等脆性材料的加工中显示出卓越的性能 |
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